（一）项目简介

团队2021年“揭榜挂帅”承担了山东省重大科技创新工程项目“集成电路用材料关键制备技术及检测仪器开发—半导体晶圆缺陷检测仪器制备技术”，主要负责核心部件深紫外激光器的研发。通过持续优化和不断创新，研制成世界上首台瓦级261 nm、320nm深紫外连续波激光器样机，目前在功率、效率、轻型化、小型化等方面领先国际上同类产品。该成果打破了国外垄断，填补了国内空白，解决了我国无图型晶圆缺陷检测的“卡脖子”难题。

（二）研究领域或应用场景

在半导体领域，晶圆缺陷检测设备基于深紫外（DUV）激光散射检测技术，其最核心的部件是高功率连续波深紫外激光器，对于检测设备的关键技术指标具有决定意义。目前，高功率连续波深紫外激光器被国外少数企业长期垄断，我国处于被“卡脖子”的境地，完全依赖进口，随时面临断供危险。针对这一现状，本项目研制了两台具有瓦级功率的新波长（261 nm、320 nm）深紫外连续波激光器，支撑了我国晶圆检测装备的自主研发，为打破关键领域的国外垄断做出贡献。项目研究期间形成系列专利，对产业化提供核心技术保护。该激光产品可用于半导体晶圆缺陷检测、生物医疗、光谱测试、平版印刷、杀菌消毒等行业，目前国内市场规模在1亿以上，长期可以达到千亿规模。

（三）团队简介或企业简介

团队负责人于浩海教授为山东大学晶体材料国家重点实验室常务副主任，国家杰出青年基金获得者，国家万人计划青年拔尖人才，多项研究成果已实现产业化，累计产值过亿元。项目团队专业从事固体激光与非线性光学研究，团队成员包括国家级人才3名，省部级人才3名，校级人才2名，以及多位教授、青年学者、博士后、研究生，年龄结构和学科结构合理，技术力量雄厚，目前在全固态激光与非线性光学的多个研究及应用领域处于国际领先地位。